オンライン 2025/12/11開催

領域で捉えるウェハー不良

~面内パターン分析と装置情報による原因究明~

概要

半導体製造において、歩留まり低下は常に大きな課題です。
不良の根本原因を特定するには、膨大なウェハーマップデータや製造プロセス情報を多角的に分析する必要があり、多くの時間と労力がかかります。

本セミナーでは、ビジュアルデータサイエンスツール「Spotfire」を活用し、まずウェハーマップ上の不良パターンを面内の領域(中心部、エッジ部など)ごとに分析することで、その特徴を明確化します。
この領域ごとの特徴を利用して効率的にグルーピングし、加工装置との相関分析までをシームレスに行う一連の流れをご紹介いたします。

開催日

2025/12/11 (木) 13:00〜13:35

エリア

オンライン

主催者

NTTコム オンライン・マーケティング・ソリューション

種別

無料セミナー

ジャンル

運用管理


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