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  • 2023/12/11 掲載

日新イオン機器、半導体材料改質装置を開発＝２５年後半以降に受注開始

時事通信社

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日新電機（京都市）のグループ会社「日新イオン機器」（同）は１１日、半導体を製造する際の材料改質過程で、量産能力を持つ世界初の装置「ＫＹＯＫＡ（鏡花）」を開発したと発表した。２０２５年後半以降に受注を開始する。

〔写真説明〕半導体材料改質装置「ＫＹＯＫＡ」（日新イオン機器提供）

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