昭和電工、電子材料用高純度ガス事業 中国四川省に合弁会社を設立

昭和電工株式会社（社長:森川宏平）は、電子材料用高純度ガス事業強化のため、中国の成都科美特特種気体有限公司と合弁で「成都科美特昭和電子材料有限公司」を四川省成都市に設立、来年1月、営業を開始いたします。新会社では主に半導体の製造工程で使われる高純度FC-14（テトラフルオロメタン、以下 CF4）の最終製造工程を担います。

当社電子材料用ガスの主力製品の一つであるCF4は、量産使用からすでに40年以上が経過している、電子材料用ガスの中では最も基本・基礎的なエッチング用ガスです。取り扱いの容易さに加え、ますます進む微細化加工にも適しており、また半導体向けだけでなく有機EL製造工程などでの使用も拡大していることから、今後も堅調に需要が増加していくと見込まれています。

このたびの事業強化策により、当社のCF4事業は、稼働中の川崎事業所（神奈川県川崎市）に、新会社を加えた2拠点体制となります。当社グループは、東アジア地区におけるCF4の安定供給の強化を実現し、今後も戦略事業である半導体プロセス材料事業の一層の拡充を図ってまいります。