東京エレクトロン、次世代エッチング装置向けプラットフォーム「Episode UL」販売開始

東京エレクトロン(TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、次世代エッチング装置向けプラットフォームEpisode(TM) ULの販売を開始することをお知らせします。

Episode ULは、フレキシブルなチャンバー数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、およびSmart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献するプラットフォームです。

TELは省スペースを追求したチャンバーの水平対向設計における先駆者ですが、Episode ULはお客さまのFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバーから12チャンバーまでフレキシブルに搭載チャンバー数を選択することが可能です。また、最大搭載チャンバー数を12個まで増やした場合でも、水平対向設計により、クリーンルームエリア、用力エリアの両方で単位チャンバー当たりのフットプリントを大幅に削減することが可能です。さらに従来品よりワークスペースを広げることにより、メンテナンス性も向上しています。また、搬送系やプロセスモジュールに複数のセンサーや高速制御システムを搭載することで、TEL独自のSmart Tool機能を使用したビッグデータ解析による、自律プロセス制御が可能となります。

東京エレクトロン 執行役員 兼 ES BUGM 和久井勇は、「Episode ULは、最先端の微細化、Smart化を備えた、お客さまの生産性向上に貢献する技術ソリューションを提供します。今後も、よりチャレンジングな課題に応えるべく技術開発と製品ラインアップの拡充に努めてまいります」と述べています。

Episode ULの紹介動画もぜひ併せてご覧ください。

URL：https://youtu.be/OuzSCyUafuE