小高敏夫氏死去＝東京エレクトロン創業者、８７歳

小高

敏夫氏（こだか・としお＝東京エレクトロン創業者、元社長）３月２４日午後５時２０分、東京都内の自宅で死去、８７歳。葬儀は近親者らで済ませた。後日、お別れの会を開く。連絡先は同社総務部秘書室。

５９年慶大工学部卒業後、日商岩井（現双日）に入社。６３年に久保徳雄氏らと東京エレクトロン研究所（現東京エレクトロン）を創業し、半導体製造装置の大手メーカーに育て上げた。８０年から１６年間、社長、会長を務めた。

【時事通信社】