コマツ子会社のギガフォトン、生産棟新設＝半導体リソグラフィ用光源

コマツは２９日、子会社で半導体リソグラフィ用光源メーカーのギガフォトン（栃木県小山市）が新たに生産棟の建設を始めたと発表した。本社敷地内での開発棟増築による生産エリア拡張に続く能力増強で、生産能力は２０２０年度比約２．５倍になる見通し。