日立金属は22日、米アドバンスド・エナジーのマスフローコントローラ（以下、MFC）事業を買収すると発表した。買収金額は、4,400万ドル（約40億円）、2010年度下期をめどに買収を完了する予定。

　マスフローコントローラ（Mass Flow Controller）とは、質量流量制御器 熱式流量センサーを搭載し、気体の流量を測定しながら、設定した流量に制御する配管機器のこと。半導体製造ラインに欠かせないMFCのラインアップを強化し、MFC事業のトップ企業を目指すという。

　半導体製造ラインにおいて、MFCは、成膜、エッチングなどを行う気体供給システムの中で精密にガス流量を制御する役割を持ち、欠くことができない最も重要な部品の1つ。近年では、半導体製造ラインに加えてフラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルやLED製造ライン向けの需要も拡大しているという。

　アドバンスド・エナジーは、2002年に日本アエラを買収して以来、AeraブランドのMFCを製造・販売していた。半導体製造ライン向けだけではなくフラットパネルディスプレイ、太陽電池パネル製造ライン向けに至るまでラインアップを揃えている。

　日立金属では、今回の買収に伴い、2012年には製造拠点を集約することを検討しているという。2012年度の売上目標は100億円。